Клапаны для атомно-слоевого осаждения (ALD)
Компания Swagelok является мировым техническим лидером и поставщиком решений в области производства полупроводниковых микросхем, а также создателем клапанной технологии ALD. Наши клапаны сверхвысокой степени чистоты для атомно-слоевого осаждения (ALD) обеспечивают:
- сверхвысокий циклический срок службы с высокой скоростью срабатывания;
- Cv в диапазоне от 0,27 до 1,7;
- работу с полным погружением при температуре до 392 °F (200 °C) с термостойкими приводами;
- пригодность для применения в сверхчистых системах со стандартным корпусом из нержавеющей стали 316L VIM-VAR;
- модульные соединения для монтажа на поверхность, соединения под приварку встык и торцевые соединения VCR®;
- вариант исполнения с электронным или оптическим датчиком положения привода.
Мембранные клапаны ALD3 и ALD6 сверхвысокой степени чистоты
Мембранные клапаны для атомно-слоевого осаждения (ALD) имеют сверхвысокий циклический срок службы, высокую скорость срабатывания и коэффициенты расхода до 0,62, а термические приводы, датчики положения и электромагниты обеспечивают оптимальные характеристики в ALD системах.
Технические характеристики
| Рабочее давление | от вакуума до 145 фунтов на кв. дюйм, ман. (10,0 бар) |
| Давление разрыва | 3200 фунтов на кв. дюйм, ман. (220 бар) |
| Давление срабатывания | от 50 до 90 фунтов на кв. дюйм, ман. (от 3,5 до 6,2 бара) |
| Температура | от 32 до 392 °F (от 0 до 200 °C) |
| Коэффициент расхода (Cv) | 0,27 или 0,62 |
| Материалы корпуса | нерж. сталь 316L VIM-VAR |
| Материал мембраны | специальный сплав на основе кобальта |
| Торцевые соединения | |
| Тип (размер) | фитинг с торцевым уплотнением VCR® с внутренней резьбой (от 1/4 до 1/2 дюйма) фитинг с торцевым уплотнением VCR с наружной резьбой (от 1/4 до 1/2 дюйма) модульное соединение для монтажа на поверхность, высокий расход, C-образное уплотнение (от 1,125 до 1,5 дюйма) |
Клапан ALD20 сверхвысокой степени чистоты для систем с высоким расходом
Клапан ALD20 сверхвысокой степени чистоты является самым свежим пополнением в семействе изделий Swagelok для атомно-слоевого осаждения (ALD). Заявленная на патент конструкция позволяет использовать сложные прекурсоры с низким давлением пара. Клапан ALD20 оснащен сильфоном сверхвысокой степени чистоты для обеспечения чистой работы и более интенсивного потока по сравнению с другими клапанами ALD.
Кроме того, клапан ALD20 является термостойким и может быть полностью погружен в газовую камеру с нагреванием в диапазоне температур от 50 °F (10 °C) до 392 °F (200 °C).
Технические характеристики
| Рабочее давление | от вакуума до 20 фунтов на кв. дюйм, ман. (1,4 бара) |
| Давление разрыва | >3200 фунтов на кв. дюйм, ман. (220 бар) |
| Давление срабатывания | от 70 до 90 фунтов на кв. дюйм, ман. (от 4,8 до 6,2 бара) |
| Температура | от 50 до 392 °F (от 10 до 200 °C) |
| Коэффициент расхода (Cv) | 1,2 (модульный монтаж на поверхность) или 1,7 (прямая конфигурация) |
| Материалы корпуса | нерж. сталь 316L VIM-VAR или сплав 22 |
| Материал сильфона | сплав 22 (обработка со средней шероховатостью Ra 5 микродюймов (0,127 мкм)) |
| Торцевые соединения | |
| Тип (размер) | фитинг VCR® с внутренней резьбой (1/2 дюйма) поворотный фитинг VCR с наружной резьбой (1/2 дюйма) соединение под приварку встык, длина 0,5 дюйма (1/2 х 0,049 дюйма) модульное соединение для монтажа на поверхность, высокий расход, C-образное уплотнение (1,5 дюйма) |
Расширьте границы технологии ALD
Рекомендуем: клапан Swagelok ALD20 сверхвысокой степени чистоты
Высокие температурные и пропускные характеристики нашего нового клапана ALD20 сверхвысокой степени чистоты открывают возможности для работы с химическими веществами, которые ранее было сложно эффективно использовать, что позволяет производителям добиваться прогресса на пути к технологиям производства микросхем нового поколения.
Загрузить каталог клапанов ALD сверхвысокой степени чистоты
Есть вопросы? Найти центр продаж и сервисного обслуживания.
| Подбор изделий с учетом требований безопасности. Для того чтобы проектировщик системы и пользователь могли гарантированно выполнить подбор изделий с учетом требований безопасности, необходимо полностью проверить весь каталог продукции. При выборе изделий следует принимать во внимание всю систему в целом, чтобы обеспечить ее безопасную и бесперебойную работу. Соблюдение назначения устройств, совместимости материалов, надлежащих рабочих параметров, правильный монтаж, эксплуатация и обслуживание являются обязанностями проектировщика системы и пользователя. Внимание! Запрещается совместное использование и замена компонентов торцевых соединений трубных обжимных фитингов Swagelok с двумя обжимными кольцами (и других изделий, на производство которых не распространяются отраслевые стандарты проектирования) изделиями других производителей. |